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组分激光气
产品描述
参数

激光事情物质是混淆气或简单纯气体。由于激光混淆气中组分气的纯度直接影响激光的性能,特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的保存将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的消耗,还会引起激光发射的不稳定。因此,对激光混淆气组分的纯度有着特殊要求,包装混淆气的钢瓶,充装前也必须进行干燥处理,避免污染混淆气。如果将氦(He)氖(Ne)激光作为第一代气体激光,二氧化碳激光是第二代气体激光,在半导体制造领域将大宗使用的氟化氪(KrF)激光,可称为第三代激光。

类 

混淆器组成/(10-2)

用途

 

H2

Ne

Ar

N2

CO2

Kr

F

Xe

CO

HCI

平衡气

 

氦氖激光混淆气

 

2-8.3

 

 

 

 

 

 

 

 

He

用于工业生产,科学研究和国防建设等领域

CO2激光混淆气

0.4

 

 

 

13.5

13.0

8.0

6.0

16.0

8-12

4.5

7.0

8.0

8.0

16.0

6-8

 

 

2.0

4.0

2.0

4.0

 

 

主要用于激光加工,如金属、陶瓷的切割、焊接与钻孔以及医疗上的激光外科等

氪氟激光混淆气

 

 

 

 

 

5.0

10.01-0.2

 

 

 

 

用于;つさ脊庖约盎Х从Φ攘煊。贮存器制造中的石板印刷已开始使用氟化氪激光

密封束激光气

 

 

 

18.5

 

 

 

3

2.5

 

 

作研究用的密封束激光气

准分子激光气

 

25.8

9.8

0.004

 

 

15.02

 

 

5.0

Ar

He

He

Ar

准分子激光器用于医疗上的外科手术

 

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